退火温度对碳氮薄膜的纳米力学和纳米摩擦性能的影响

• 作者: 岳学庆 张瑞军 田占军
• 来源期刊: 中国材料科技与设备
• 学科: 工学
• 关键词: 碳氮薄膜 氮含量 退火 纳米力学性能 纳米摩擦特性
• 年，卷（期）: 2006,（2）
• 页码范围: 85-87
• 页数: 3页
• 分类号: TG139.7

摘要

采用微波电子回旋共振化学气相沉积技术制备了氮含量不同的碳氮薄膜，采用真空退火技术对碳氮薄膜进行了退火处理，并且利用Laser Raman谱仪和Hysitron纳米力学测试系统对碳氮薄膜的结构、纳米力学以及纳米摩擦特性进行了研究。结果表明：随着退火温度的升高，碳氮薄膜中的sp^2含量降低，sp^2含量增加，而薄膜的纳米力学性能如纳米硬度和弹性模量则随之明显下降。在栽荷相同的条件下，不同氮含量的沉积态碳氮薄膜均表现出基本相同的摩擦系数值。但退火处理会显著改变碳氮薄膜的摩擦系数，氮含量相同时，退火温度越高，摩擦系数越大。但是，摩擦系数随退火温度增大的程度与薄膜中氮含量有关。