步进扫描投影光刻机投影物镜精密温度控制系统

• 作者: 余斌 李小平 聂宏飞
• 来源期刊: 机床与液压
• 学科: 工学
• 关键词: 投影物镜 温度控制 PID控制算法
• 年，卷（期）: 2006,（10）
• 所属期刊栏目: 自动控制与检测
• 页码范围: 127-130,160
• 页数: 5页
• 分类号: TN305.99
• 字数: 4024字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-3881.2006.10.044

摘要

针对投影物镜在光刻机工作时高精度温度控制要求及其自身体积庞大、质量重、温度难以控制的特点,提出了一种由主控制器、温度采集系统、水温控制系统组成的串级控制系统的方案,简要介绍了高精度温度采集系统和水温控制系统,并通过对光刻机工作时产生的热量进行分析计算,建立了模拟的投影物镜温度控制平台,再基于此平台对温度控制方案进行实验研究,研究结果表明:投影物镜温度波动小于±0.01℃,并具有良好的调节曲线.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李小平	华中科技大学机械科学与工程学院	26	220	9.0	14.0
2	余斌	华中科技大学机械科学与工程学院	3	37	2.0	3.0
3	聂宏飞	华中科技大学机械科学与工程学院	4	75	4.0	4.0