优化沉积参数对微晶硅薄膜太阳电池性能的影响

• 作者: 孙建 张晓丹 朱锋 熊绍珍 耿新华 赵颖 高艳涛 魏长春
• 来源期刊: 人工晶体学报
• 学科: 工学
• 关键词: 微晶硅薄膜太阳电池 气体流量 硅烷浓度
• 年，卷（期）: 2006,（1）
• 页码范围: 170-172,169
• 页数: 4页
• 分类号: TK51
• 字数: 2031字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-985X.2006.01.039

摘要

本文主要采用甚高频等离子体增强化学气相沉积技术制备了不同硅烷浓度、辉光功率和反应气体流量的单结微晶硅薄膜太阳电池.电池的Ⅰ-Ⅴ测试结果表明:电池的开路电压随功率的降低、硅烷浓度和气体流量的增加而增加,而对应的短路电流密度在一定的硅烷浓度条件下达到最大,填充因子也在逐渐的增加.文中对具体内容进行了详细的分析.