快速退火工艺条件下温度对Bi4Ti3O12铁电薄膜微观结构与性能的影响

• 作者: 任鸣放 王华
• 来源期刊: 材料科学与工程学报
• 学科: 工学
• 关键词: Bi4Ti3O12 铁电薄膜 快速退火工艺
• 年，卷（期）: 2006,（1）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 93-96,100
• 页数: 5页
• 分类号: TM22.1
• 字数: 4031字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1673-2812.2006.01.024

摘要

采用快速退火工艺在Pt/Ti/SiO2/p-Si衬底上制备了Bi4Ti3O12铁电薄膜.研究了退火温度对薄膜微观结构、铁电特性及介电性能的影响.研究表明:退火温度对Si基Bi4Ti3O12铁电薄膜晶相结构的影响显著,对晶粒尺寸和表面形貌的影响较小,但退火温度超过800℃后会出现焦绿石等杂相;低于750℃时,薄膜的剩余极化随退火温度升高而增大,高于750℃时却有所减小,但矫顽电场随退火温度升高而逐渐降低;退火温度对薄膜的漏电流密度有一定的影响,薄膜的漏电流密度在200kV/cm极化电场作用下低于3×10-9A/cm2,750℃时的剩余极化和矫顽电场分别为11μC/cm2和77kV/cm,具有较好的铁电和介电性能.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王华	桂林电子工业学院信息材料科学与工程系	98	463	13.0	17.0
2	任鸣放	桂林电子工业学院信息材料科学与工程系	10	74	4.0	8.0