应用于流动控制的MEMS传感器和执行器

• 作者: 叶甜春 景玉鹏 李超波 欧毅 焦斌斌 申功 白宏磊 石莎莉 董立军 陈大鹏 黄钦文
• 来源期刊: 电子工业专用设备
• 学科: 工学
• 关键词: 微电子机械系统(MEMS) 剪切应力传感器 射流执行器 流体
• 年，卷（期）: 2006,（1）
• 所属期刊栏目: 专题报道(MEMS)
• 页码范围: 25-27,62
• 页数: 4页
• 分类号: TP212.9
• 字数: 2578字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-4507.2006.01.004

摘要

出现于20世纪80年代后期的微机械技术可以制作出微米尺度的传感器和执行器.这些微器件与信号调节和处理电路集成后,组成了可执行分布式实时控制的微电子机械系统(MEMS).这种性能为流动控制研究开辟了一个崭新的研究领域.利用MEMS技术设计和制作了一种传感器和一种执行器.实验证明,采用体硅腐蚀的工艺制作微流体器件是可行的,同时可以避免牺牲层腐蚀和释放的复杂工艺.