微颗粒表面磁控溅射镀金属膜

• 作者: 俞晓正 徐政 沈志刚
• 来源期刊: 过程工程学报
• 学科: 工学
• 关键词: 微颗粒 磁控溅射 金属膜 表面形貌
• 年，卷（期）: 2006,（z2）
• 所属期刊栏目: 颗粒制备
• 页码范围: 173-178
• 页数: 6页
• 分类号: TN451
• 字数: 1511字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1009-606X.2006.z2.037

摘要

采用磁控溅射方法,开展了在微颗粒表面镀金属膜的实验研究.研究开发了一种在微颗粒表面真空镀金属膜的方法及设备,微颗粒包括空心微珠、不同粒度的碳化硅微粉等,所镀的金属包括铝、银、铜、钴、镍等.实验与分析结果表明,通过控制微颗粒的运动方式,采用磁控溅射镀金属膜,可以在微颗粒表面镀上均匀性好、附着力强和致密性好的金属膜.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	沈志刚	北京航空航天大学粉体技术北京市重点实验室	65	491	11.0	19.0
3	徐政		28	128	7.0	9.0
4	俞晓正	北京航空航天大学粉体技术北京市重点实验室	7	66	5.0	7.0