微波CVD法低温制备纳米金刚石薄膜

• 作者: 汪建华 满卫东 熊礼威 王传新 王升高 马志斌
• 来源期刊: 武汉化工学院学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 纳米金刚石 微波 化学气相沉积 甲醇
• 年，卷（期）: 2006,（4）
• 页码范围: 57-61
• 页数: 5页
• 分类号: O484.1
• 字数: 2722字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1674-2869.2006.04.017

摘要

利用甲醇和氢气的混合气体,用微波等离子体CVD方法在480℃下成功地在硅片表面制备出纳米金刚石薄膜,本文研究了甲醇浓度和沉积温度对金刚石膜形貌的影响.通过Raman光谱、原子力显微镜及扫描隧道显微镜对样品的晶粒尺寸及质量进行了表征.研究结果表明:通过提高甲醇浓度和降低沉积温度可以在直径为50 mm的硅片表面沉积高质量的纳米金刚石薄膜,晶粒尺寸大约为10～20 nm,并对低温下沉积高质量的纳米金刚石薄膜的机理进行了讨论.