电子陶瓷薄膜动压悬浮流延的动力学特性分析

• 作者: 吕玉山 孙建章 张辽远 饶宇
• 来源期刊: 电子工业专用设备
• 学科: 工学
• 关键词: 电子陶瓷薄膜 流延 动压悬浮 动态特性
• 年，卷（期）: 2006,（10）
• 所属期刊栏目: 材料制备与设备
• 页码范围: 65-69
• 页数: 5页
• 分类号: TP3
• 字数: 2918字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-4507.2006.10.016

摘要

为了解决电子陶瓷薄膜的高精密与超薄化流延问题将硬磁盘存储系统中磁头相对磁盘的动压悬浮运动理论运用于电子陶瓷流延过程中,建立了动压悬浮流延法,并给出了流延头相对流延辊子的动静态物理模型.根据该模型所确立的动力学方程式,对其流延过程的动力学特性进行了计算机仿真,获得了系统各参数对流延系统稳定性的影响规律,并利用仿真结果得到实现系统动压悬浮的合理参数,确保了系统的稳定性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	吕玉山	沈阳理工大学机械工程学院	69	290	9.0	13.0
2	张辽远	沈阳理工大学机械工程学院	48	238	10.0	13.0
3	孙建章	沈阳理工大学机械工程学院	12	52	4.0	6.0
4	饶宇	沈阳理工大学机械工程学院	3	5	2.0	2.0