Olympus发布新型圆片检测系统

• 来源期刊: 现代表面贴装资讯
• 学科: 工学
• 关键词: 圆片 检测系统 OLYMPUS 倾角检测 缺陷探测 检测能力 角度调节
• 年，卷（期）: 2006,（4）
• 页码范围: 39
• 页数: 1页
• 分类号: TN405

摘要

据Semiconductor Reporter网站报道，Olympusntegrated Technologies America近期发布了一款新型300mm圆片光学全顶、边缘、倾角和背端缺陷检测系统。该公司以前的检测系统不含有倾角检测能力，倾角检测将通过连续角度调节实现最佳成像和缺陷探测。