低阻ITO玻璃的制造工艺

• 作者: 张有润 成建波 李军建 杨健君 林慧 王军 蒋泉 饶海波
• 来源期刊: 电子科技大学学报
• 学科: 工学
• 关键词: 氧化铟锡 玻璃 有机发光二极管
• 年，卷（期）: 2006,（2）
• 所属期刊栏目: 光电子学工程与应用
• 页码范围: 261-263
• 页数: 3页
• 分类号: TN305
• 字数: 2274字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-0548.2006.02.033

摘要

有机发光显示器件是目前平板显示中的热点,所用ITO玻璃比液晶显示所用的有更高更严的要求.该文探讨了OLED用ITO玻璃生产的相关工艺,得出使用直流溅射ITO陶瓷靶时,较好的气氛是低氩微氧,功率约200W左右,溅射时基板温度约250℃,高温无氧退火.得到方阻20 Ω以下、平均透过率大于80%的ITO玻璃.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	成建波	电子科技大学光电信息学院	53	414	11.0	16.0
2	饶海波	电子科技大学光电信息学院	46	308	10.0	15.0
3	王军	电子科技大学光电信息学院	115	936	14.0	26.0
4	李军建	电子科技大学光电信息学院	20	119	6.0	10.0
5	蒋泉	电子科技大学光电信息学院	45	294	10.0	15.0
6	杨健君	电子科技大学光电信息学院	42	222	8.0	13.0
7	林慧	电子科技大学光电信息学院	23	128	7.0	10.0
8	张有润	电子科技大学光电信息学院	10	167	3.0	10.0