不同掺Al3+浓度的ZnO:Al薄膜性能研究

• 作者: 徐自强 葛启函 邓宏 陈航
• 来源期刊: 电子科技大学学报
• 学科: 工学
• 关键词: ZnO:Al薄膜 Al3+掺杂 溶胶凝胶法 表面结构 光电性能
• 年，卷（期）: 2006,（2）
• 所属期刊栏目: 电子信息材料与器件
• 页码范围: 253-256
• 页数: 4页
• 分类号: TB43
• 字数: 2084字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-0548.2006.02.031

摘要

采用溶胶-凝胶法制备ZnO:Al(ZAO)薄膜,得到了不同掺Al3+浓度的ZAO薄膜;利用x射线衍射仪分析、原子力显微镜、紫外-可见分光光度计及四探针法等仪器与方法对其性能进行了测试.通过分析比较,得出所制备的ZAO薄膜为多晶纤锌矿结构,薄膜表面平整、晶粒致密均匀;Al3+掺杂能提高其导电性能:低掺杂时,薄膜在紫外-可见光范围的透过率超过80%,并伴有蓝移现象产生;高掺杂时,其透过率无明显增加,但蓝移现象加剧,最大蓝移量达340 nm.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	邓宏	电子科技大学微电子与固体电子学院	72	653	14.0	22.0
2	徐自强	电子科技大学微电子与固体电子学院	31	155	7.0	11.0
3	陈航	电子科技大学微电子与固体电子学院	5	47	3.0	5.0
4	葛启函	电子科技大学微电子与固体电子学院	1	25	1.0	1.0