具有C轴取向Al3+掺杂型ZnO薄膜的溶胶-凝胶法制备及其性能研究

• 作者: 宋植彦 帖楠 谢凯 郑春满 魏海博
• 来源期刊: 国防科技大学学报
• 学科: 化学
• 关键词: 溶胶-凝胶 ZnO薄膜 Al3+离子掺杂 制备
• 年，卷（期）: 2012,（3）
• 所属期刊栏目: 航天工程·材料科学与工程
• 页码范围: 33-37
• 分类号: O648
• 字数: 3826字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-2486.2012.03.007

摘要

以乙二醇甲醚为溶剂,采用Sol-Gel法制备出具有C轴取向、可导电的Al3+离子掺杂ZnO透明薄膜,并利用场发射扫描电镜、X-射线衍射、能谱分析、标准四探针和反射光谱仪等对薄膜的组成、结构和光学性能进行了分析.结果表明:Al3+离子掺杂ZnO薄膜为六方纤锌矿型结构,由六棱柱状阵列构成,具有C轴择优取向；薄膜电阻率随Al3+离子掺杂浓度的升高而降低；在可见光区域,薄膜透光率随Al3+离子掺杂浓度的升高而降低,掺杂3％ ZnO薄膜的透光率达到90％左右,禁带宽度为3.25 eV,具备制作薄膜太阳能电池透明导电电极材料的应用价值.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	郑春满	国防科技大学航天与材料工程学院	37	249	8.0	13.0
2	谢凯	国防科技大学航天与材料工程学院	73	638	14.0	20.0
3	魏海博	国防科技大学航天与材料工程学院	4	45	3.0	4.0
4	宋植彦	国防科技大学航天与材料工程学院	3	26	2.0	3.0
5	帖楠	国防科技大学航天与材料工程学院	2	5	1.0	2.0