溶胶-凝胶方法制备ZnO:Al薄膜及其制备工艺条件研究

• 作者: 王波涛 王炜 董晓刚 薛钰芝
• 来源期刊: 感光科学与光化学
• 学科: 化学
• 关键词: 溶胶-凝胶 ZAO薄膜 工艺条件
• 年，卷（期）: 2007,（1）
• 所属期刊栏目: 研究简报
• 页码范围: 63-68
• 页数: 6页
• 分类号: O64
• 字数: 2817字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1674-0475.2007.01.009

摘要

采用Sol-Gel工艺在玻璃基片上制备出C轴择优取向性、高可见光透过率以及高电导率的Al3+离子掺杂的ZnO透明导电薄膜ZnO:Al(ZAO薄膜).并研究了退火温度、Al掺杂量等对其光电性能的影响.结果表明,溶胶-凝胶法制备ZAO薄膜的最佳工艺条件为:溶胶浓度0.75 mol/L、掺杂量1.5 atm%,镀膜层数10层(厚度约为136 nm)、退火温度600 ℃.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	薛钰芝	大连交通大学材料科学与工程学院	31	128	6.0	9.0
2	王炜	大连交通大学环境与化学工程学院	22	105	7.0	9.0
3	王波涛	大连交通大学环境与化学工程学院	1	7	1.0	1.0
4	董晓刚	大连交通大学环境与化学工程学院	3	19	3.0	3.0