基于MEMS技术的微型模具制作工艺研究

• 作者: 刘冲 刘海军 杜立群 秦江 肖日松
• 来源期刊: 高技术通讯
• 学科: 工学
• 关键词: 微型模具 MEMS UV-LIGA 光刻 微电铸 湿法刻蚀
• 年，卷（期）: 2006,（4）
• 所属期刊栏目: 先进制造与自动化技术
• 页码范围: 368-371
• 页数: 4页
• 分类号: TG7
• 字数: 1822字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1002-0470.2006.04.008

摘要

针对微型模具的结构和精度要求,在研究硅模具和背板生长两种工艺路线的基础上,提出了无背板生长工艺路线,并介绍了工艺路线中所涉及的三种MEMS加工方法,即UV-LIGA技术中的光刻、微电铸以及硅MEMS加工技术中的湿法刻蚀.实验结果表明,硅模具和背板生长模具呈54.74°的斜面,且硅模具容易损坏,背板生长模具受应力影响易产生变形;而无背板生长工艺能够获得侧壁垂直、表面细致、使用寿命长的模具,满足结构和精度要求.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杜立群	大连理工大学精密与特种加工教育部重点实验室	61	480	13.0	19.0
5	刘冲	大连理工大学精密与特种加工教育部重点实验室	156	1345	17.0	30.0
9	刘海军	大连理工大学微系统研究中心	16	371	12.0	16.0
10	秦江	大连理工大学微系统研究中心	5	89	4.0	5.0
11	肖日松	大连理工大学精密与特种加工教育部重点实验室	2	34	2.0	2.0