结合LAPS及纳米多孔硅的气体传感器研究

• 作者: 余辉 宗小林 王平 蔡华
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: LAPS 多孔硅 气体检测 传感器 化学MEMS
• 年，卷（期）: 2006,（5）
• 所属期刊栏目: 生物化学微纳器件与技术
• 页码范围: 2142-2144
• 页数: 3页
• 分类号: TP2
• 字数: 2472字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2006.05.219

摘要

结合光寻址电位传感器及纳米多孔硅技术研制了一种新型的气体传感器.该传感器结合光寻址电位传感器的微机电系统工艺和平面器件特点以及纳米多孔硅的高灵敏度特性,对实现进一步细胞代谢气体的检测提供了一种可能的手段.初步实验结果表明,在室温条件下,该气体传感器对于乙醇气体具有较明显的响应,并具有一定的浓度梯度特性,证明该传感器的设计是可行的.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王平		14	131	6.0	11.0
2	宗小林		2	2	1.0	1.0
3	蔡华		1	2	1.0	1.0
4	余辉		1	2	1.0	1.0