一种新的光刻机多成像质量参数的原位检测技术

• 作者: 张冬青 施伟杰 王向朝 王帆 马明英
• 来源期刊: 中国激光
• 学科: 工学
• 关键词: 测量 光刻 投影物镜 成像质量 原位检测
• 年，卷（期）: 2006,（4）
• 所属期刊栏目: 测量技术
• 页码范围: 543-548
• 页数: 6页
• 分类号: TN305.7
• 字数: 2619字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0258-7025.2006.04.022

摘要

随着光刻特征尺寸的不断减小,尤其是随着分辨力增强技术的使用,像质参数的原位检测已成为先进的投影光刻机中不可或缺的功能.然而现有的每种技术均只能检测有限的几种像质参数.提出了一种新的基于像传感器的光刻机多成像质量参数原位检测(MIQM)技术.该技术通过对原有的测量模型进行修正和扩展,从而在精确测量低阶成像质量参数的同时能高精度地测量高阶成像质量参数.此外,该技术是基于空间像测量的像质参数原位检测技术,从而具有速度快、稳定性好等优点.通过该技术的低阶像质参数测量精度与原有技术相近,而高阶像质参数测量重复精度优于1 nm.实验结果表明该技术能一次完成步进扫描投影光刻机的多个像质参数的精确测量,从而简化了光刻机像质检测过程,大量节约了测量时间,有效避免了像质参数之间的互相影响.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王向朝	中国科学院上海光学精密机械研究所信息光学实验室	170	1628	23.0	35.0
2	马明英	中国科学院上海光学精密机械研究所信息光学实验室	11	60	4.0	7.0
3	王帆	中国科学院上海光学精密机械研究所信息光学实验室	20	71	5.0	7.0
7	施伟杰	中国科学院上海光学精密机械研究所信息光学实验室	13	70	4.0	7.0
8	张冬青	中国科学院上海光学精密机械研究所信息光学实验室	13	71	4.0	7.0