基于MEMS技术的平面W型微弹簧刚度特性研究

• 作者: 何光 石庚辰
• 来源期刊: 北京理工大学学报
• 学科: 工学
• 关键词: MEMS弹簧 弹簧常数 能量法 有限元方法
• 年，卷（期）: 2006,（6）
• 所属期刊栏目: 工程力学
• 页码范围: 471-474
• 页数: 4页
• 分类号: TH702
• 字数: 2309字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-0645.2006.06.001

摘要

为了方便平面W型微弹簧的设计和制造,对其刚度特性表征方面进行了研究.运用能量方法推导出平面W型微弹簧弹簧常数计算公式.通过镍质平面W型微弹簧的实际拉伸实验,对推导出的微弹簧弹簧常数计算公式进行了验证,公式计算结果与测试结果基本相符.同时在有限元模拟分析软件--ANSYS中进行了仿真计算,二者一致性很好.在公式和仿真计算的基础上,找出了各结构参数对其刚度的影响规律.研究结果为平面W型微弹簧的优化设计与加工提供了理论指导.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	石庚辰	北京理工大学机电工程学院	54	627	15.0	23.0
2	何光	北京理工大学机电工程学院	9	106	5.0	9.0