一种硅微谐振式压力传感器的敏感膜片设计

• 作者: 任森 苑伟政 邓进军
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 谐振式压力传感器 敏感膜片 硅岛 凸角补偿
• 年，卷（期）: 2006,（5）
• 所属期刊栏目: 微型压力传感器
• 页码范围: 1855-1858,1862
• 页数: 5页
• 分类号: TP2
• 字数: 3214字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2006.05.145

摘要

根据正方形膜片的变形和应力分布情况,提出了一种硅微谐振式压力传感器敏感膜片的设计方法,设计了两种正方形间接连接式压力敏感膜片.在相同的膜片面积下,新膜片与原有矩形间接连接式压力敏感膜片性能相近,为内部谐振器的多样化提供了基础.最后,就压力敏感膜片的工艺设计进行了探讨,认为采用正方形凸角补偿结构的〈110〉硅岛和采用边长补偿的〈100〉硅岛最适合间接连接式压力敏感膜片.