集成电路芯片机器视觉检测技术研究

• 作者: 任建民 梁忠伟
• 来源期刊: 机械产品与科技
• 学科: 工学
• 关键词: 芯片检测 机器视觉 图像处理 图像分析
• 年，卷（期）: 2007,（1）
• 页码范围: 11-15
• 页数: 5页
• 分类号: TH165.2

摘要

针对芯片制造后道工序的需求，拟开发基于精密图像光学检测的IC全自动分捡杌以提高IC芯片的合格率和降低检测时间。本项目设备的研制，对实现半导体生产专用设备的国产化，缩短与世界先进水平的差距有着重要的意义，同时研制的IC全自动分捡杌将会具有广阔的市场应用前景和较大的社会效益。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	梁忠伟	华南理工大学机械工程学院	12	84	5.0	9.0
2	任建民	白城师范学院物理系	3	13	2.0	3.0