MEMS器件平板运动空气阻尼研究

• 作者: 朱应敏 樊康旗 贾建援
• 来源期刊: 电子科技大学学报
• 学科: 工学
• 关键词: 傅里叶级数 空气阻尼 微加速度开关 微机电系统
• 年，卷（期）: 2007,（5）
• 所属期刊栏目: 电子机械工程
• 页码范围: 965-968
• 页数: 4页
• 分类号: TM358
• 字数: 2585字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-0548.2007.05.043

摘要

针对微电子机械系统中平行板间的气膜阻尼问题,通过将平板沿垂直方向的位移运动方程展开为傅里叶级数,得到了微平面机构所受的空气阻尼力和阻尼系数的解析公式.结果表明,空气阻尼系数近似与两平板间气隙厚度的三次方成反比.通过对微加速度开关质量块工作时所受的空气阻尼进行仿真分析,得出该开关的阻尼系数在工作过程中为变阻尼的结论,并分析了空气阻尼系数对于开关性能的影响.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	贾建援	西安电子科技大学机电工程学院	174	1783	17.0	35.0
2	朱应敏	西安电子科技大学机电工程学院	17	69	6.0	7.0
3	樊康旗	西安电子科技大学机电工程学院	23	250	8.0	15.0