基于遗传算法的显影速率参数确定

• 作者: 卢文娟 张玉林 郝慧娟 魏强
• 来源期刊: 微细加工技术
• 学科: 工学
• 关键词: 显影速率 最小二乘法 遗传算法 Gauss-Newton迭代法
• 年，卷（期）: 2007,（3）
• 所属期刊栏目: 电子束技术
• 页码范围: 6-8,17
• 页数: 4页
• 分类号: TN305.7
• 字数: 2565字
• 语种: 中文

摘要

为了更精确地确定显影速率参数,采用基于遗传算法的最小二乘法对显影速率进行拟合,并与Gauss-Newton迭代法进行了比较.结果显示,基于遗传算法的拟合效果更佳,具有较强的鲁棒性,可以用于显影速率参数的确定.该拟合可以为显影模拟、曝光条件的优化提供更精确的参数.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张玉林		18	76	5.0	8.0
2	卢文娟		12	47	4.0	6.0
3	郝慧娟		8	44	4.0	6.0
4	魏强		4	35	3.0	4.0