自支撑金刚石膜冲蚀磨损研究

• 作者: 吕反修 张凤雷 贺琦 郭会斌 魏俊俊
• 来源期刊: 金刚石与磨料磨具工程
• 学科: 工学
• 关键词: 自支撑金刚石膜 冲蚀磨损 冲蚀机理 冲蚀磨损率 红外透过率
• 年，卷（期）: 2007,（4）
• 所属期刊栏目: 研究与应用
• 页码范围: 8-12
• 页数: 5页
• 分类号: TQ164
• 字数: 4713字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1006-852X.2007.04.003

摘要

在研制的高压气动冲蚀磨损实验系统中对自支撑金刚石膜(抛光和未抛光)的冲蚀磨损进行了研究.比较了冲蚀磨料(SiO2,Al2O3,SiC和玻璃珠)、冲蚀角度、冲蚀速度,以及冲蚀时间对冲蚀磨损率的影响.利用扫描电子显微镜(SEM)观察了冲蚀磨损后金刚石膜表面形貌,对其进行了Raman光谱分析,并测定了抛光金刚石薄膜红外透过率的变化.结果表明,随冲蚀磨料硬度、冲蚀角度以及冲蚀速度的增加,自支撑金刚石膜的冲蚀磨损率增加.由于抛光和未抛光的金刚石薄膜表面形貌的差异,使得它们的冲蚀磨损率随冲蚀时间的变化过程不同.Raman光谱检测结果显示,由于冲蚀作用,金刚石膜表面部分碳的键合类型发生改变.冲蚀磨损使得抛光金刚石薄膜红外透过率降低,采用180目SiC磨料,在134 m/s的速度下冲蚀4 h,红外透过率降低约20%.