光刻机试验运动装置振动信号的时频分析

• 作者: 吴运新 杨辅强 邓习树 隆志力
• 来源期刊: 微细加工技术
• 学科: 工学
• 关键词: 光刻机 模拟装置 振动 时频分析
• 年，卷（期）: 2007,（5）
• 所属期刊栏目: 光子束技术
• 页码范围: 18-21
• 页数: 4页
• 分类号: TH161+.6
• 字数: 2482字
• 语种: 中文

摘要

步进扫描光刻机在工作状态下振动特性的好坏对其性能起着重要作用.为给步进扫描光刻机的设计研究提供理论指导,设计了一种步进扫描光刻机模拟试验运动装置,它能够完全再现步进扫描光刻机的运动特点.在此基础上,对试验装置的关键部件进行了振动测试,运用傅里叶变换和现代联合时频分析技术对测得的数据分别进行了分析,结果表明,采用联合时频分析技术更能反映系统的固有性质和振动特性,所得到的参数和结果对指导步进扫描光刻机隔振装置的设计具有一定的实际意义.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	邓习树	中南大学机电工程学院	17	186	9.0	13.0
2	吴运新	中南大学机电工程学院	184	1824	22.0	31.0
3	隆志力	中南大学机电工程学院	34	285	10.0	16.0
4	杨辅强	中南大学机电工程学院	7	27	3.0	4.0