压阻式MEMS压力传感器的原理与分析

• 作者: 林鸣谢 郭成锐
• 来源期刊: 电子质量
• 学科: 工学
• 关键词: MEMS 压力传感器 有限元分析
• 年，卷（期）: 2007,（9）
• 所属期刊栏目: 可靠性分析与研究
• 页码范围: 38-40
• 页数: 3页
• 分类号: TP212
• 字数: 1751字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-0107.2007.09.014

摘要

本文介绍了一种压阻式MEMS压力传感器的工作原理,该装置由玻璃支座、单晶硅衬底及PZT薄膜构成,压阻薄膜连接组成惠斯登电桥,以取得更高的电压灵敏度和低温度敏感性.使用有限元分析软件ANSYS对单晶硅衬底的轴对称模型进行了仿真分析,以达到优化设计的目的.