化学气相沉积-后退火法制备MgB2超导薄膜

• 作者: 张正平 王松 秦水介 薛涛
• 来源期刊: 低温物理学报
• 学科: 物理学
• 关键词: MgB2 超导薄膜 CVD 后退火
• 年，卷（期）: 2007,（3）
• 页码范围: 163-166
• 页数: 4页
• 分类号: O51
• 字数: 2521字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-3258.2007.03.001

摘要

本文提出在高真空镀膜系统中通过化学气相沉积(CVD)的方法沉积高纯度的先驱B膜,再经过后退火工艺,Mg扩散进入先驱膜而反应生成了MgB2超导薄膜.经过多种实验方法检测,这种薄膜具有较为优异的超导性能,是一种和传统微电子工艺兼容、适宜于工业化大规模生产MgB2超导薄膜的方法.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	秦水介	贵州大学光电子技术及应用省级重点实验室	56	190	6.0	11.0
2	王松	贵州大学通信工程系	29	23	2.0	3.0
3	张正平	贵州大学通信工程系	95	328	9.0	14.0
4	薛涛	贵州大学通信工程系	4	6	2.0	2.0