高密度氧化铟锡(ITO)靶材的制备研究

• 作者: 徐华蕊 朱归胜
• 来源期刊: 云南大学学报（自然科学版）
• 学科: 工学
• 关键词: 高密度 ITO 靶材 制备
• 年，卷（期）: 2007,（6）
• 所属期刊栏目: 材料科学
• 页码范围: 601-606
• 页数: 6页
• 分类号: TN304.21
• 字数: 2252字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0258-7971.2007.06.012

摘要

以水热合成的2种不同粒径(70±8)nm和(40±6)nm单分散ITO粉末为原料,对原料粉体粒径分布、冷等静压成型压力、烧结温度和时间等与靶材烧结密度之间的关系进行了研究.当2种粒径原料按7∶3质量比混合均匀,成型压力为250 MPa,成型坯体经1 300 ℃预烧1.5 h和在1 400 ℃烧结1 h后可以得到相对密度大于99%的高密度、高纯度ITO靶材.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	徐华蕊	桂林电子科技大学信息材料科学与工程系	31	143	7.0	10.0
2	朱归胜	桂林电子科技大学信息材料科学与工程系	24	97	5.0	9.0