基于MEMS的无阀泵研究进展

• 作者: 冯志庆 吴一辉 白兰
• 来源期刊: 微细加工技术
• 学科: 工学
• 关键词: MEMS 微型无阀泵 扩张管/收缩管
• 年，卷（期）: 2007,（4）
• 所属期刊栏目: 综述报告
• 页码范围: 1-5,21
• 页数: 6页
• 分类号: TP27
• 字数: 2552字
• 语种: 中文

摘要

微流体控制系统是微机电集成系统(MEMS)一个主要分支,微泵作为微流体控制系统的重要组成部分,根据其有无阀片可分为有阀型微泵和无阀型微泵.无阀型微泵由于其结构相对简单、制造工艺要求不高,因而有着独特的发展优势.主要介绍了基于MEMS的扩张管/收缩管型无阀泵几年来在结构设计、制作工艺等方面的研究成果、现状和发展前景.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	吴一辉	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	126	1121	18.0	27.0
2	冯志庆		22	127	6.0	10.0
3	白兰		8	52	4.0	7.0