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65nm的互连线工艺灵敏度分析
工艺偏离
互连线
灵敏度
TCAD
统计试验设计
一种65nm CMOS互连线串扰分布式RLC解析模型
纳米CMOS
互连耦合串扰
分布式RLC解析模型
参数提取
函数逼近
65Nm苎麻纱牵切纺工艺的研究
苎麻
牵切纺纱
新工艺
内容分析
关键词云
关键词热度
相关文献总数  
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(/年)
文献信息
篇名 在65nm及以下节点获得良好的互连可靠性
来源期刊 集成电路应用 学科
关键词
年,卷(期) 2007,(5) 所属期刊栏目 工艺与制造
研究方向 页码范围 37-40
页数 4页 分类号
字数 4637字 语种 中文
DOI 10.3969/j.issn.1674-2583.2007.05.013
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引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
集成电路应用
月刊
1674-2583
31-1325/TN
16开
上海宜山路810号
1984
chi
出版文献量(篇)
4823
总下载数(次)
15
总被引数(次)
4205
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