类金刚石膜生长特性的分子动力学模拟

• 作者: 张宇军 曾群峰 毛军红 董光能 谢友柏
• 来源期刊: 润滑与密封
• 学科: 物理学
• 关键词: 类金刚石膜 分子动力学模拟 生长特性
• 年，卷（期）: 2007,（10）
• 所属期刊栏目: 试验研究
• 页码范围: 4-7,28
• 页数: 5页
• 分类号: O311
• 字数: 2656字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.0254-0150.2007.10.002

摘要

类金刚石膜(Diamond-like Carbon,DLC)的沉积过程直接影响着薄膜分子结构,从而决定着最终薄膜的物理化学特性.采用分子动力学模拟的方法,计算了以C原子为沉积物,在50 eV和100 eV入射能量下制备无氢DLC膜的动力学过程,详细考察了不同生长阶段表面生成膜的生长特性.通过比较,模拟结果观察到并揭示出在一定的入射能量冲击下,基体表面薄膜的一种新的点-链-网成长过程及薄膜形成机制.同时发现,随着入射能量的增加,基底的逃逸原子数亦相应增加,基底原子向表面薄膜的扩散和渗透距离变长,薄膜密度在入射能量较高时,变化数量及趋势基本一致.