应用传统紫外光刻机进行紫外压印

• 作者: 司卫华 董晓文 顾文琪
• 来源期刊: 电子工业专用设备
• 学科: 工学
• 关键词: 纳米压印 紫外 模板
• 年，卷（期）: 2007,（3）
• 所属期刊栏目: 微纳加工技术
• 页码范围: 43-45,63
• 页数: 4页
• 分类号: TN4
• 字数: 2246字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-4507.2007.03.015

摘要

基于紫外光固化的紫外纳米压印技术可在常温常压条件下实现纳米结构批量复制,具有高分辨率、高效率和低成本的优点.通过对紫外纳米压印原理和工艺的分析,制备了石英玻璃模板,实现了在商用紫外固化聚合物OG154上的紫外纳米压印,转移复制了具有100 nm特征的5 cm×5 cm面积的纳米结构图形.同时,介绍了如何利用传统紫外光刻机的套刻对准系统进行紫外纳米压印和套刻对准的方法.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	顾文琪	中国科学院电工研究所	53	189	8.0	11.0
2	董晓文	中国科学院电工研究所	10	46	4.0	6.0
6	司卫华	中国科学院电工研究所	9	46	4.0	6.0