偏流对金刚石膜生长的影响

• 作者: 支文 朱莉 毕冬梅 赵利军
• 来源期刊: 长春理工大学学报（自然科学版）
• 学科: 物理学
• 关键词: 金刚石膜 偏流 膜的质量
• 年，卷（期）: 2007,（3）
• 页码范围: 108-109,113
• 页数: 3页
• 分类号: O484
• 字数: 1585字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-9870.2007.03.033

摘要

采用电子辅助热灯丝化学气相沉积(EA-CVD)方法沉积大面积金刚石膜,在金刚石膜的沉积过程中,偏流对金刚石膜沉积的影响会直接影响着全刚石膜的生长和质量.用Raman、SEM等手段对全刚石膜的生长特性进行了表征.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	赵利军	长春大学特殊教育学院	34	49	4.0	5.0
2	朱莉	长春大学理学院	23	40	4.0	5.0
3	毕冬梅	长春大学理学院	39	44	4.0	4.0
4	支文	长春大学理学院	21	54	5.0	6.0