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摘要:
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串列加速器-离子注入机-透射电镜联机系统的建立
原位透射电子显微镜
加速器
联机装置
离子注入
一种用于高能离子注入机射频加速的数字移相器设计
STM32微控制器
DDS芯片AD9959
离子注入
射频加速
移相器
400kV离子注入机光纤传输系统的改造
高压隔离
光纤传输
幅度-频率转换
阻抗匹配
离子注入机
离子加速器和离子注入机建设项目环境影响评价
离子加速器
离子注入机
环境影响评价
内容分析
关键词云
关键词热度
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文献信息
篇名 M5525100-1/UM型大角度离子注入机
来源期刊 中国集成电路 学科
关键词
年,卷(期) 2007,(7) 所属期刊栏目 创新专栏
研究方向 页码范围 46-47
页数 2页 分类号
字数 2256字 语种 中文
DOI 10.3969/j.issn.1681-5289.2007.07.016
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相关学者/机构
期刊影响力
中国集成电路
月刊
1681-5289
11-5209/TN
大16开
北京朝阳区将台西路18号5号楼816室
1994
chi
出版文献量(篇)
4772
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6
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