退火温度对不连续多层膜磁性及微结构的影响

• 来源期刊: 河北建筑工程学院学报
• 学科: 工学
• 关键词: 不连续多层膜 磁性 微结构
• 年，卷（期）: 2007,（4）
• 页码范围: 9-11
• 页数: 3页
• 分类号: TB383.2
• 语种: 中文

摘要

通过射频和直流磁控溅射方法和原位退火工艺将Fe颗粒嵌入绝缘SiO_2母体中制备了系列不连续金属绝缘体多层膜样品.研究发现,热处理温度对薄膜中的磁性颗粒分布和磁性能有很大的影响.通过扫描探针显微镜对样品的微结构进行了分析,发现在400℃时形成典型的不连续多层膜结构,磁性颗粒比较均匀的分散在母体当中.样品的磁性能测量结果显示该样品具有较好的磁性能.