(Ba0.5Sr0.5)TiO3/LaNiO3异质薄膜的介电调谐特性

• 作者: 唐新桂 熊惠芳 蒋力立 陈王丽华
• 来源期刊: 压电与声光
• 学科: 工学
• 关键词: 脉冲激光沉积 钛酸锶钡薄膜 异质结构 介电调谐率 探测优值
• 年，卷（期）: 2007,（1）
• 所属期刊栏目: 单晶、薄膜及其他功能材料
• 页码范围: 80-82,86
• 页数: 4页
• 分类号: TM27
• 字数: 2641字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-2474.2007.01.027

摘要

用脉冲激光沉积工艺制备Ba0.5Sr0.5TiO3(简称BST)薄膜和Ba0.5Sr0.5TiO3/LaNiO3(简称BST/LNO)薄膜.在650℃原位退火10 min,获得了(100)和(110)择优取向生长的BST和BST/LNO薄膜,薄膜晶粒呈柱状结构,BST薄膜和BST/LNO异质结构薄膜的晶粒尺寸分别为150～200 nm和50～80 nm.在室温和1 MHz条件下,BST薄膜和BST/LNO异质结构薄膜的相对介电常数和介电调谐率分别达811和58.9%、986和60.1%;用LNO作底电极,可增益介电常数和介电调谐率.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈王丽华	香港理工大学应用物理系	27	186	7.0	13.0
2	唐新桂	广东工业大学物理与光电工程学院	26	71	5.0	6.0
3	熊惠芳	广东工业大学物理与光电工程学院	13	37	4.0	5.0
4	蒋力立	东工业大学实验中心	1	2	1.0	1.0