硅微型加速度传感器技术

• 作者: 吴瑞 温廷敦
• 来源期刊: 仪表技术与传感器
• 学科: 工学
• 关键词: 加速度计 压阻 电容 隧道效应 共振隧穿 介观压阻效应
• 年，卷（期）: 2007,（3）
• 所属期刊栏目: 传感器技术
• 页码范围: 8-10
• 页数: 3页
• 分类号: TP212
• 字数: 2929字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1002-1841.2007.03.004

摘要

介绍了硅微加速度计的基本原理以及国内外最新发展的几种硅微加速度计的结构形式,包括压阻式、电容式、隧道式等,分析了这些传感器的基本特点,总结出它们在传感器性能方面存在的一些问题,提出了一些解决关键问题的措施,并对目前两种新的微机理:共振隧穿和介观压阻效应的原理和应用前景进行了论述.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	温廷敦	中北大学微米纳米技术研究中心	65	169	7.0	10.0
2	吴瑞	中北大学微米纳米技术研究中心	7	39	3.0	6.0