本征氧化层对Si纳米板弹性模量的影响

• 作者: 于虹 王静 黄庆安
• 来源期刊: 半导体学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 本征氧化 纳米板 弹性模量
• 年，卷（期）: 2007,（7）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 1048-1052
• 页数: 5页
• 分类号: O484.2
• 字数: 2588字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-4177.2007.07.009

摘要

采用能量法计算了表面不带氧化层的Si纳米板和表面带不同厚度氧化层的Si纳米板的杨氏模量.结果表明,表面带氧化层的Si纳米板杨氏模量随着板厚度的减小而增加,不带氧化层的则随之降低,但当板厚度增加时,它们都趋于一个定值123GPa.板的杨氏模量随表面氧化层层数的增加而上升,随着板厚度的减小,氧化层的影响起到了决定性的作用.当表面带氧化层的纳米板厚度为50nm时,板的杨氏模量随着氧化层层数的增加从120GPa上升到近200GPa.计算结果解释了目前报道的Si纳米板杨氏模量尺度效应不一致的原因.