远心分离技术在电子工业领域的应用

• 作者: 康建兵
• 来源期刊: 电子工业专用设备
• 学科: 工学
• 关键词: 等离子屏 显影液 远心分离系统 固液分离机 振动 SS分析法 分离量
• 年，卷（期）: 2008,（9）
• 所属期刊栏目: IC制造工艺与设备
• 页码范围: 55-60
• 页数: 6页
• 分类号: TN605
• 字数: 4389字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-4507.2008.09.012

摘要

在等离子屏、LCD、TFT等平板显示器生产电子工业领域中.曝光显影是生产工艺中的重要组成部分.由于各类显影废液中含有多种化学成分和昂贵的工业原料,因此进行显影废液的处理与再生对生产成本的控制及环境保护都是相当重要的环节,远心分离技术正是在这种背景下被引入到该领域,并且取得了很好的环保效果和极高的经济效益.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	康建兵		2	1	1.0	1.0