MEMS显微干涉测量系统中相位提取算法的选择与分析

• 作者: 傅星 胡小唐 郭彤 陈津平
• 来源期刊: 纳米技术与精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 微机电系统 相位提取算法 误差分析 Hariharan算法
• 年，卷（期）: 2008,（2）
• 所属期刊栏目: 微机电系统
• 页码范围: 151-154
• 页数: 4页
• 分类号: TH741.4
• 字数: 2273字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-6030.2008.02.016

摘要

描述了一种基于相移显微干涉术的MEMS测试方法,达到了纳米级分辨力.从理论上分析了4种常用相移算法对测量过程主要噪声(相移器的移相误差和探测器的非线性响应误差)的抑制作用,并选定了适合本系统的Hariharan算法.通过对经过美国国家标准研究院(NIST)认证的一个台阶高度的测量,验证了各种算法的测量精度,说明Hariharan算法对噪声有更强的抑制作用,其测量重复性在亚纳米量级.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	胡小唐	天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室	205	1913	21.0	33.0
2	傅星	天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室	107	753	14.0	20.0
3	郭彤	天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室	46	370	11.0	17.0
4	陈津平	天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室	30	267	10.0	15.0