化学气相沉积中输运现象的研究

• 作者: 王国斌
• 来源期刊: 工业加热
• 学科: 工学
• 关键词: CVD 输运现象 混合对流 传热传质 模拟
• 年，卷（期）: 2008,（6）
• 所属期刊栏目: 热能工程
• 页码范围: 22-26
• 页数: 5页
• 分类号: TQ022.11
• 字数: 4325字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1002-1639.2008.06.006

摘要

对化学气相沉积(CVD)中输运现象的研究进行了总结.重点阐述了典型的水平式和垂直式CVD反应器中混合对流的模拟结果,以及反应器几何形状、壁面温度、流体流速、压强、浓度梯度等因素对其的影响.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王国斌	江苏大学能源与动力工程学院	2	18	2.0	2.0