红外光学终点检测的研究

• 作者: 周国安 柳滨 王学军 詹阳
• 来源期刊: 电子工业专用设备
• 学科: 工学
• 关键词: 化学机械平坦化 电机电流终点检测 光学干涉终点检测 红外 铜层
• 年，卷（期）: 2008,（9）
• 所属期刊栏目: 测试与测量
• 页码范围: 7-10
• 页数: 4页
• 分类号: TN305.2
• 字数: 2386字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-4507.2008.09.002

摘要

终点检测是化学机械平坦化的关键技术,它决定着理想的平坦运行的停止点,在以纳米级别的控制上,终点检测尤为重要.目前主要的两种终点检测方法:电机电流存在着误判断,而可见光干涉存在着光蚀效应等.低能量的红外检测根据不同介质及同种介质不同厚度的红外吸收和反射系数不同的原理精确地选择平坦化终点完全克服以上检测手段的不足.阐述了其原理,设计了其硬件原理图,定性分析了红外测量曲线.并指出今后终点检测的方向.