Sol-甩膜法制备钛酸钡薄膜及其微观形态的SPM研究

• 作者: 杨芙丽 申玉双 翟学良 许新芳
• 来源期刊: 河北省科学院学报
• 关键词: 无机非金属材料 钛酸钡薄膜 甩膜法 扫描探针
• 年，卷（期）: 2008,（4）
• 页码范围: 41-44
• 页数: 4页
• 分类号: TB321
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-9383.2008.04.012

摘要

采用溶胶-凝胶(Sol-Gel)法合成稳定的前驱体溶液.在单晶硅(100)上用甩膜法制得了均匀致密的钛酸钡薄膜,利用差热-热重(DTA-TGA)技术分析了钛酸钡(BT)干凝胶的热演化过程,首次用电子探针显微镜(SPM)之原子力显微镜(AFM)直接地从三维的角度观测了钛酸钡薄膜微观形成过程,并用XRD技术跟踪了薄膜加热过程中物相的变化情况,得到了薄膜生长的基本信息,最终制得了表面光滑的钛酸钡薄膜,晶粒大小在50-70nm之间.最佳煅烧温度为700℃.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	翟学良	河北师范大学实验中心	61	711	15.0	23.0
2	申玉双	河北化工医药职业技术学院化工系	22	89	4.0	9.0
3	许新芳	河北化工医药职业技术学院化工系	16	60	5.0	7.0
4	杨芙丽	河北化工医药职业技术学院化工系	16	19	2.0	3.0