无粘连键合技术与伺服型±70 g微加速度传感器

• 作者: 丁元萍 张茜梅 彭勃 李红 武蕊 王艳丽 袁明权
• 来源期刊: 信息与电子工程
• 学科: 工学
• 关键词: 无粘连键合 微加速度传感器 伺服控制器 量程
• 年，卷（期）: 2008,（1）
• 所属期刊栏目: 学术论文
• 页码范围: 21-23
• 页数: 3页
• 分类号: TP212.1
• 字数: 2482字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-2892.2008.01.006

摘要

为了解决电容极板间隙低至3 μm时传感器键合封接后内部活动部件粘连失效的问题,介绍了一种利用去除部分Au层的办法来抑制小间隙键合粘连,通过严控元件表面生产质量,合理地设计伺服控制器,制作的微加速度传感器已经达到了±70 g的量程,单边线性二次项系数10-6量级,残差控制在15 mg以内,相对精度达到了2×10-4,达到了设计要求.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	彭勃	中国工程物理研究院电子工程研究所	19	115	6.0	10.0
2	张茜梅	中国工程物理研究院电子工程研究所	8	29	3.0	5.0
3	袁明权	中国工程物理研究院电子工程研究所	17	63	4.0	7.0
4	武蕊	中国工程物理研究院电子工程研究所	6	22	3.0	4.0
5	李红	中国工程物理研究院电子工程研究所	5	18	2.0	4.0
6	丁元萍	中国工程物理研究院电子工程研究所	3	28	2.0	3.0
7	王艳丽	中国工程物理研究院电子工程研究所	1	2	1.0	1.0