压阻式硅微二维加速度计的加工与测试

• 作者: 张国军 张开瑞 张文栋 张斌珍 薛晨阳 陈尚
• 来源期刊: 纳米技术与精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 微机电系统 二维加速度计 压阻效应 高灵敏度
• 年，卷（期）: 2008,（4）
• 所属期刊栏目: 精密测量
• 页码范围: 272-277
• 页数: 6页
• 分类号: TP212
• 字数: 3451字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-6030.2008.04.007

摘要

提出了一种压阻式的硅微二维加速度计,该加速度计采用4个相互垂直的悬臂梁支撑中间有刚硬柱体的结构,利用合理布置的压敏电阻构成的惠斯通电桥测量水平面内两个方向的加速度.结合微结构的力学分析模型以及压阻原理分析了加速度计的灵敏特性.采用硅微机械加工工艺完成了加速度计的加工,应用微系统分析仪、激光拉曼光谱应力测试仪以及振动台分别对加工出的微结构形貌、残余应力、频响以及灵敏特性进行了相关测试.测试结果表明,两个方向的输出值均灵敏度高、线形度较好,X向灵敏度为1.017 4mV/g(g为重力加速度),线性系数为0.999 91,Y向灵敏度为0.897 61mV/g,线性系数为0.999 45.微加速度计的频响曲线较为平坦,其共振频率大约为670 Hz.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张国军	中北大学电子测试技术国家重点实验室	75	334	8.0	13.0
2	张文栋	中北大学电子测试技术国家重点实验室	167	1172	16.0	26.0
3	薛晨阳	中北大学电子测试技术国家重点实验室	136	765	14.0	21.0
4	张斌珍	中北大学电子测试技术国家重点实验室	107	535	12.0	18.0
5	陈尚	中北大学电子测试技术国家重点实验室	8	155	6.0	8.0
6	张开瑞	中北大学电子测试技术国家重点实验室	2	57	2.0	2.0