MEMS显示技术

• 作者: 刘会刚 商广辉 耿卫东
• 来源期刊: 液晶与显示
• 学科: 工学
• 关键词: 数字微镜器件 光栅光阀 干涉调制显示器 微电机系统
• 年，卷（期）: 2008,（2）
• 所属期刊栏目: 研究报告
• 页码范围: 230-234
• 页数: 5页
• 分类号: TN141
• 字数: 1820字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1007-2780.2008.02.022

摘要

由于MEMS器件具有体积小、重量轻、功耗低、性能优异等特点,MEMS技术在平板显示器产业日益受到人们的重视,基于MEMS的显示技术将推动新一代平板显示器的发展.文章重点分析了比较成熟的MEMS显示技术的工作原理,包括TI公司的数字微镜技术、斯坦福大学发明的光栅光阀技术、美国Iridigm Display公司发明的干涉调制显示器.讨论了各种技术的优势和应用局限性,指出改进工艺、降低成本、开发优质的MEMS材料是MEMS显示技术发展的方向.