一种新型水平式MEMS隧穿磁强计仿真

• 作者: 全玮 汤学华
• 来源期刊: 上海电机学院学报
• 学科: 工学
• 关键词: 隧穿磁强计 微机电系统 单折绕梁结构 有限元仿真
• 年，卷（期）: 2008,（2）
• 所属期刊栏目: 机械工程
• 页码范围: 95-98
• 页数: 4页
• 分类号: TH73
• 字数: 1298字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.2095-0020.2008.02.003

摘要

针对微机电系统(MEMS)水平式隧穿磁强计,驱动电压过大,不符合微小型卫星上电源电压的使用条件.提出了单折绕梁结构,通过改变梁结构的方法来降低驱动电压,进行了有限元静力及模态仿真分析,所得的位移距离,各阶频率值符合要求,为满足在微小型卫星上的电压要求提供了理论上的可能性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	全玮	上海电机学院机械学院	1	0	0.0	0.0
2	汤学华	上海电机学院机械学院	19	89	5.0	9.0