ZrO2/SiO2双层膜膜间渗透行为初步研究

• 作者: 吕海兵 徐世珍 王毕艺 田东斌 祖小涛 蒋晓东 袁晓东 赵松楠 郭袁俊
• 来源期刊: 中国激光
• 关键词: 薄膜 溶胶-凝胶薄膜 渗透 椭偏仪 X射线光电子能谱仪
• 年，卷（期）: 2008,（3）
• 所属期刊栏目: 薄膜
• 页码范围: 440-444
• 页数: 5页
• 字数: 2370字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0258-7025.2008.03.026

摘要

用溶胶-凝胶技术,采用提拉镀膜法在K9玻璃基片上镀制了ZrO2/SiO2双层膜和SiO2/ZrO2双层膜,研究了这两种膜层之间的渗透问题.用X射线光电子能谱仪(XPS)测量了薄膜的成分随深度方向的变化,用反射式椭偏仪对X射线光电子能谱仪测得的实验结果进行模拟与验证.结果表明,用X射线光电子能谱仪测得的实验结果建立的椭偏模型,模拟出来的椭偏曲线和用椭偏仪测量出来的椭偏曲线十分吻合;对于ZrO2/SiO2双层薄膜,膜层间的渗透情况不是很严重,在薄膜界面处薄膜的成分比变化非常明显,到达一定深度后薄膜的成分不再随深度的变化而变化;SiO2/ZrO2双层膜膜层界面间的渗透十分严重,渗透层的深度比较大,底层几乎发生了完全渗透.