柔性膜式微型电磁驱动器的设计与仿真分析

• 作者: 刘武发 杨杰伟 苏宇锋 赵江铭 陈文元
• 来源期刊: 微纳电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 微型驱动器 电磁驱动 硅橡胶 数值模拟 电镀
• 年，卷（期）: 2008,（6）
• 所属期刊栏目: MEMS器件与技术
• 页码范围: 356-360
• 页数: 5页
• 分类号: TH702|TH703.8
• 字数: 2114字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-4776.2008.06.010

摘要

硅橡胶具有生物兼容性好且制作技术与微细加工工艺兼容的优点,采用硅橡胶作为MEMS驱动器中的振动膜具有较好的应用前景.研究了一种微型电磁驱动器,由内嵌永磁体阵列的柔性硅橡胶(PDMS)振动膜和线圈两层构成,采用电镀工艺制作线圈层;采用电镀方法制作磁体阵列,由甩胶机旋涂硅橡胶并进行固化,制作内嵌磁体阵列的硅橡胶膜,对磁体磁化后可作为双向驱动器.对该驱动器进行了理论分析与数值模拟,采用有限元分析工具ANSYS对微驱动器的电磁驱动力及其挠度进行分析,二者结果基本一致,振动膜中心最大挠度的分析误差为7.96%,其一阶固有频率的分析误差为16.1%.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杨杰伟	郑州大学机电一体化研究所	17	48	3.0	6.0
2	陈文元	上海交通大学微纳米科学技术研究院薄膜与微细技术教育部重点实验室微米纳米加工技术国家重点实验室	56	274	10.0	14.0
3	刘武发	郑州大学机电一体化研究所	41	328	9.0	17.0
4	苏宇锋	郑州大学机电一体化研究所	36	162	8.0	11.0
5	赵江铭	郑州大学机电一体化研究所	15	49	3.0	6.0