磁过滤直流真空阴极弧制备类金刚石膜的结构及其性能

• 作者: JIN Fan-ya SHEN Li-ru 徐桂东 祝土富
• 来源期刊: 中国表面工程
• 学科: 工学
• 关键词: 磁过滤真空阴极弧 DLC膜
• 年，卷（期）: 2008,（4）
• 所属期刊栏目: 试验研究
• 页码范围: 27-35
• 页数: 9页
• 分类号: TB43
• 字数: 4436字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1007-9289.2008.04.006

摘要

采用磁过滤直流真空阴极弧沉积技术在单晶硅片、载玻片、不锈钢片基体上制备了类金刚石(DLC)膜.用光学显微镜、椭偏仪、Raman光谱、X射线光电子能谱(XPS)、X射线衍射能谱(XRD)、纳米硬度计、摩擦磨损仪、洛氏硬度计检测了薄膜的组分、结构、光学、力学等相关特性.结果表明,膜中均存在着微米级的大颗粒分布.硅片上的薄膜厚度均为37 nm左右,75 V、100 V偏压下制得的薄膜具有最高的sp3键含量,薄膜具有典型的DLC膜Raman光谱特征.玻片上的DLC膜具有良好的红外透射性能.不锈钢片上的薄膜为非晶碳结构,硬度受膜厚的影响显著,在空气中的摩擦因数均约为0.1左右,耐磨性能优良,随着膜厚的增加,膜与基体的结合性能变差.采用Cr/Cr-DLC膜(含铬DLC膜)作为不锈钢的梯度过渡层时可以极大地提高膜基间的结合性能.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	徐桂东		7	87	4.0	7.0
2	祝土富		5	48	4.0	5.0
3	SHEN Li-ru		1	4	1.0	1.0
4	JIN Fan-ya		1	4	1.0	1.0