Nd掺杂ZnO薄膜的制备及室温光致发光研究

• 作者: 文军 陈长乐
• 来源期刊: 四川师范大学学报（自然科学版）
• 学科: 物理学
• 关键词: Nd掺杂 ZnO薄膜 射频磁控溅射 光致发光
• 年，卷（期）: 2008,（6）
• 页码范围: 732-735
• 页数: 4页
• 分类号: O484.1|O484.4
• 字数: 3767字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-8395.2008.06.022

摘要

通过射频磁控溅射技术在Si(111)衬底上制备了Nd掺杂ZnO薄膜.XRD和AFM分析表明,Nd掺杂没有改变ZnO结构,薄膜为纳米多晶结构.随Nd掺杂量的增加颗粒减小,表面粗糙,起伏较大.室温光致发光谱显示,薄膜出现了395 nm的强紫光峰和495 nm的弱绿光峰,Nd掺杂量和氧分压对PL谱发射峰强度产生了一定影响.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈长乐	西北工业大学应用物理系	144	734	13.0	20.0
2	文军	西北工业大学应用物理系	39	136	7.0	9.0