微水导激光划片工艺原理及应用

• 作者: 王宏智
• 来源期刊: 电子工业专用设备
• 学科: 工学
• 关键词: 微水导激光 光液耦合 划切 微水柱 热熔效应 超薄晶圆 Low-K介质层 LED衬底
• 年，卷（期）: 2008,（3）
• 所属期刊栏目: IC制造工艺
• 页码范围: 27-31,49
• 页数: 6页
• 分类号: TN305.1
• 字数: 4853字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-4507.2008.03.008

摘要

从应用需求出发,介绍了微水导激光划片工艺的主要原理和特点;对其关键工艺机构中的光学聚焦系统、激光在水柱中的全反射传播、激光系统、压力水腔和喷嘴组成的光液耦合器等原理进行了简单分析和介绍;对微水导激光划片工艺的应用前景进行了总结和展望.